ハード(クロム)マスク種類・仕様
ハード(クロム)マスクは、保護膜 TOP'S-r(防汚対策) を選択できます。
種類
種類
特徴
用途
ハード(クロム)マスク
石英
高耐久性
低熱膨張(青板1/10以下)
高透過率
高密度パッケージ
高精細電子部品板パターン
青板
高耐久性
低熱膨張
高密度パッケージ
タッチパネル
フレキシブル配線
高精細電子部品板パターン
仕様
仕様
規格
ハード(クロム)マスク
基材仕様 材質 石英 青板
種類
小判
大判
小判
大判
温度膨張係数(/℃) 5 × 10-7 85 × 10-7
透過率(365nm) 90% 以上 80% 以上
膜仕様 膜材質 金属クロム膜(スパッタ膜)
膜厚(Å) 1,000 ~ 1,250
マスク濃度(D) 3.0 以上
製造規格 外形サイズ(inch) ~7 × 7 ~28 × 32 ~7 × 7 ~28 × 32
有効サイズ(mm) 165 × 165 700 × 800 165 × 165 700 × 800
最小線幅(μm) 1~3(*) 3 ~ 10 1~3(*) 3 ~ 10
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